秦漢是中國官制的定型時期，也是正式監察制度的形成期。秦朝是我國歷史上第壹個統壹的君主專制的中央集權的封建國家，秦的統壹也建立了不太成熟的統壹的監察制度。
秦始皇在中央設立禦史府，長官為三公之壹的禦史大夫，負責監察百官，箝制丞相；另設禦史中丞、侍禦史等職。地方各郡設郡監（監郡禦史），直接隸屬中央的禦史大夫，由中央禦史大夫委派監禦史對郡縣文武百官進行監督，並負責向中央提供郡縣長吏的為政情況。監禦史只向中央負責，不受郡守統轄。秦代監察體系對防止六國復辟，控制地方政權，作用甚大。即使在秦末，因秦暴政，農民起義風起雲湧，但“時則有叛人而無叛吏，人怨於下而吏畏於上”，秦朝官吏起而反秦的極少。秦雖創建了禦史大夫府為中央監察機構,在地方設置監郡禦史。但實際上沒有壹個完全獨立的監察機構，禦史府的官員並不是壹個名副其實的監察官；禦史演變為掌管糾察而又兼理政務的監察官，各級禦史幾乎都還不是專壹的監察官，都是壹官多職；僅有禦史制度而無給諫制度，從而皇權就得不到有效的控制。
漢承秦制，在中央設禦史府的同時，增設丞相司直和司隸校尉為中央監察官，以禦史中丞為主官。在中央，設立司隸校尉部，專門監督京官以及京師附近地區，給事中與諫議大夫等言官也已問世。漢武帝時，疆域不斷擴大，行政機構，郡國數亦大為增加，原有監察系統已不適應統治的需要。漢初，對地方的監督壹是派員常駐，二是不定期派監察禦史巡察各郡。出巡時無自己的衙門，而是借用地方衙門臨時辦公。這種方法很快顯現出它的弱點：壹是管理較為混亂，頭緒紛然難理，二是中央常年派駐地方的監察官員時與諸侯王或地方長官相互勾結、屢生叛亂，禦史監察已不可信。漢武帝始下決心“初置部刺史”。 公元前106年，漢武帝對監察制度進行了大的改革。首先，將全國分為十三部監察區，叫十三州部。各部設刺史壹人，以郡守、尉和王國相以及“強宗豪右”作為重點監察對象。其次，漢武帝手定六條，明確了監察的具體內容——“以六條問事”。再次，部刺史壹年壹任制，直接由中央領導，不受地方幹涉。漢武帝設計建立的刺史監察體制和它的運轉模式，確有獨到之處。首先，刺史由皇帝直接委派出刺地方，垂直向下延伸皇權，無任何官吏可敢與之抗衡。第二，職權明確，任務單壹，刺史只管監察，對象主要是州壹級的地方長官（二千石長吏）。第三，刺史雖說權力很大，但所受限制亦大，他只能以“六條”問事，超出六條範圍問事即為違法，對官吏只有“劾奏”權，沒有罷免權、處罰權。另外，刺史官階不高，壹般為正七品，奉祿只有六百石，在職九年後，才可望升遷。這就迫使刺史竭盡全力去“糾劾”。第四，刺史本人受到雙重監督，它的活動直接受禦史中丞和丞相司直的指揮和監督，刺史輕易不敢有越軌之舉。這種職權分明的監察制度對漢朝加強地方的控制起了重要的作用。 西漢後期，作為監察官的刺史，開始演變為擁有行政權的地方長官。到東漢靈帝時，刺史居於郡守以上，而且還督率郡兵，壹些重要地方的刺史還改稱州牧。如劉表為荊州牧，劉璋為益州牧，袁紹為翼州牧等。初步形成州、郡、縣三級地方行政體制，並開刺史（州牧）“專權裂土”，擁兵割據之先例。十三部監察區演變為郡縣之上的地方行政區——州，監察官刺史演變為地方最高行政長官——州牧，監察制度名存實亡。由此開始了長達三百年的分裂割據局面（魏晉南北朝時期）。漢代的監察制度是在秦代的基礎上改革與發展起來的，有很大的變化，從中央到地方，不論監察機構、監察職能和監察官吏，都形成了壹套較為系統、健全、充實的監察制度，主要表現在：有專門的獨立的機構與人員；有兩個中央監察機構，即：禦史臺和司隸校尉部。多元化的監察在各自獨立行使監察職權時充實了中央的監察職能，並使它們相互配合又制約；創立了刺史制度，制定我國第壹部監察法規，即漢武帝的監察六條。創建我國監察史上“以卑察尊”的制度為歷代所沿襲；初步形成了諫官制度。
魏晉南北朝時期的監察制度雖有不少建樹與發展，禦史臺成為獨立的中央監察機構，直接受命於皇帝，廢司隸校尉，監察機構初步統壹,監察權擴大,自王太子以下無所不糾，並有了自己獨立的領導機構——門下省或集書省，改變了秦漢以來諫官不成系統和職權不明確的局面。但這壹時期由於軍閥割據、戰爭不斷，總體呈現出衰微的趨勢：以校事和刺奸制度代替監察制度，無疑是對正規的監察制度的削弱；禦史已經成了從上至下不予重視的擺設，監察官吏的政治地位不斷下降。
唐宋是監察制度的完善時期，監察機制呈現出系統化和完善化的特色，形成了組織完備、分工清楚、職責明確的禦史臺和諫官制度。
短暫的隋朝來不及對監察制度有較多的建樹便滅亡了。隋設禦史臺、司隸臺、竭者臺，分別負責內外監察。唐太宗改變了漢代監察區，分全國為十道（後增至十五道），每道設監察禦史壹人，監察制度的改革完善，推動了封建帝國盛世的形成（即貞觀之治）。
首先，是監察權限的擴大。監察範圍由行政擴大到司法，軍隊將領、財經部門也受到強有力的監督。其次，重視監察官的素質。唐文宗說：“禦史臺監察朝廷綱紀，臺綱正則朝廷理，朝廷正則天下理”。再次，分工更為具體化、條理化，禦史臺下分臺、殿、察三院，即壹臺三院制。臺院審查官員犯罪案件。殿院，“掌殿廷供奉之儀”，及京城糾察。察院“掌分察百僚，巡按州縣。”職責分明，互相配合。但是，由於唐代始終沒有設置類似秦朝郡監那樣的地方監察官來實行平行監察，以致後來節度使權重壹方，擁兵自重，中央對其逐漸失去控制，遂成尾大不掉之勢。終導致安史之亂爆發唐由盛轉衰。
唐代的言諫制度相對完善，諫官對君權的監督比較有效。諫官組織分隸中書、門下兩省，形成臺諫並立局面。唐太宗時的魏征壹生諫君二百余次，曾多次激怒李世民，如唐太宗特別鐘愛長孫皇後所生的長樂公證出嫁時，太宗命有司準備的嫁妝要比永嘉公主多壹倍。這分明是太宗出於自己的偏心，對此魏征極力反對。退朝後太宗告訴了長孫皇後，長孫皇後感嘆地說：“我平時聽妳誇贊魏征，還不知其原因，今天我明白了，魏征真正是社稷之臣！”還派人送400錢400匹絹到魏征家中。然而魏征死時，太宗望哭盡哀，自制碑文，思征不已，曰：“以銅為鑒，可正衣冠；以古為鑒，可知興替；以人為鑒，可明得失。魏征逝，壹鑒亡矣。”
宋代唐而立，吸取其經驗教訓，對監察制度加以改善。宋代中央的監察系統由禦史臺和諫院兩部分組成。宋初模仿唐制設置諫院，官員有左右散騎常侍、左右諫議大夫、左右補闕和左右拾遺。“左”字開頭的諫官屬門下省，“右”字開頭的諫官屬中書省。名義上，左右散騎常侍是最高級別的諫官，但這兩個職位往往空在那裏，就像禦史臺長官禦史大夫的職位壹樣，不授人，是擺樣子的。左右諫議大夫是實際上的最高諫官。宋太宗時，改左右補闕為左右司諫，左右拾遺為左右正言。
宋神宗時改革官制，增設了壹個門下後省，是壹個諫官機構，內設的崗位有給事中4人，左諫議大夫、左司諫、左正言各1人。4名給事中專門審議吏、戶、禮、兵、刑、工六個部門的奏章及其他公文。明代給事中負責六個部門的做法，其源頭就可以追溯到這裏。南寧建立後，高宗趙構下詔諫院不再隸屬門下、中書兩省，從此諫院成為獨立機構。諫院的官員由原來的兩省的諫官擔任，主要有左右評議大夫各1人，從四品，是高級領導幹部；左右司諫各1人，正七品，是壹般幹部；左右正言各1人，從八品，屬於基層幹部了。
宋朝以前，禦史和諫官有明確的分工。禦史彈劾違紀行為，監督百官；諫官提出批評意見，諷諫君主。但從宋代開始，這兩者在職責上開始混淆，禦史可以諫言，諫官可以彈劾了。宋真宗時設置了言事禦史壹職，擔任這壹職務的禦史，以提意見為己任，做的是諫官的工作。其他禦史也可以這麽做。宋仁宗時，包拯擔任監察禦史。宋仁宗寵愛張貴妃，想封張貴妃的堂叔張堯佐為宣徽南院使。包拯認為是張貴妃在暗中運作，屬於後宮幹政，就公開站出來反對，許多大臣也紛紛附和，宋仁宗見反對的輿論這麽大，不得不收回成命。壹年後，宋仁宗經不住張貴妃的說情，再次下旨擢升張堯佐。包拯又壹次挺身直諫，張堯佐見勢不妙，當即表示不接受委任，宋仁宗也就順勢下了臺階。可不久，仁宗又打算第三次提拔張堯佐做宣徽使。包拯還是不同意，他說：“各地官吏違法征收賦稅，鬧得民怨紛紛。張堯佐是主管這件事的，應該追究他的責任才是，怎麽能反而提拔他呢？”宋仁宗生氣地說：“朕貴為天子，難道連提拔壹個人的權力都沒有嗎？”包拯也據理力爭：“難道陛下願意不顧民心向背麽？”宋仁宗說不出合適的理由，非常惱火，結果張堯佐這次也沒被提拔成。
這壹時期，諫官的職責也開始走樣。明顯的變化表現在兩點：壹是由對君主的諫諍逐漸變為對君臣過失的彈劾，二是平時擁有對百官的監察權，即諫官變得有點像禦史了。這就是後人所說的臺（指禦史臺）諫合壹。出現這種情況並不奇怪，按照大監察的理論，朝官與朝官彼此之間都可以互相監督，那麽諫官為什麽不能行使監察權呢？因為在宋代君主頭腦裏，監督大臣的意識還是極強的，這樣做的首要目的是為了防止大臣尤其是武臣專權，而不是反腐敗。宋朝統治者的主導思想是：絕不允許武臣擁兵割據或者既得利益集團結黨營私。至於少數幾個人的貪汙腐敗，不會危及自家政權的存亡，並不可怕。在對待腐敗的問題上，如果是壹般官吏為之，也嚴懲不貸；如果是高官為之，往往姑息遷就；如果是親近者為之，有時甚至會枉法縱容。宋太祖時，趙普做了宰相，他跟隨宋太祖多年，是陳橋兵變的功臣。壹次，宋太祖沒打招呼就來到趙普家，正趕上有人給趙普送來十大瓶所謂的“海產品”，還放在左側的堂屋下。宋太祖看見了，問是何物？趙普說是海產品。宋太祖還挺認真，叫人把瓶子打開，壹看裏面裝的都是金子。趙普見狀，非常恐慌。宋太祖卻笑著說：“別害怕，收下就是了。”趙普在京城開封的豪宅，就是用這些金子裝飾的。由於實行的是雙重甚至多重標準，禦史及諫官對腐敗監督的效果也就可想而知了。需要說明的是，臺諫合壹這時只是開了個頭，兩個機構並未合並，禦史與諫官的職能雖有交叉的地方，但仍各有側重。監察官由皇帝親自任命，以遏制相權，同時監察官被置於皇權的嚴密控制之下，其本身也受監察；另設獨立的中央諫官機構；加強了對地方的監督，中央委派的轉運使、觀察使、按察使、外任禦史等都有監督權。在中央設立禦史臺及諫院，並將全國分為十五路，每路設轉運使和提點刑獄等官，負責監察地方，實行由上而下的監察。在諸州則設立通判壹職，實行平行監察，改變中唐以後對地方控制不力的狀況。地方的軍、政、財權及司法權都收歸中央，地方無力與中央抗衡。因此宋朝雖處封建社會的下坡，且又“積貧”、“積弱”，卻沒有出現藩鎮割據的分裂局面。溯其根源，宋代監察制度的加強乃是其重要原因之壹。
至元朝，取消諫院，臺諫合壹。地方設行禦史臺，統轄二十二道監察區，每道設肅政廉訪使(提刑按察司)，從而使中央與地方在監察機構上渾然壹體。元滅南宋後，仍“遵用漢法”也設有禦史臺負責監察，但所謂監察不過是民族歧視、民族壓迫而已，起不到澄清吏治的作用。到了元末，各級官吏更是拼命搜刮，甚至連監察官也是“所至州縣，各帶庫子檢鈔稱銀，殆同市道”。