C-C 鍵長1.54A,鍵能 332 KJ/mol，
C-H鍵鍵長1.09 A，鍵能414 KJ/mol，
C-Cl鍵鍵長1.77A，鍵能328KJ/mol,
C-F鍵鍵能為485kJ/mol，鍵長1.38A,氟原子***價半徑0.64A。
由上述數據可知，C-F鍵比C-C、C-H鍵穩定得多，本身不容易斷裂；而且氟原子特別是多氟取代的F-C鍵可以很好的屏蔽保護相連的C-C鍵。
因此，氯氟烴穩定性良好。