微弧氧化又稱微等離子體氧化或陽極火花沈積，是將鋁、鈦、鎂等有色金屬或其合金置於特殊電解液中，通過微等離子體放電，在金屬或合金表面直接生長陶瓷膜的新技術。這是壹種基於陽極氧化的新方法。
據深圳電鍍廠介紹，壹般認為微弧氧化工藝經歷四個階段。
(1)陽極氧化階段
將樣品置於壹定的電解液中，通電後樣品表面和陰極上出現無數細小均勻的白色氣泡，並且隨著電壓的升高，氣泡逐漸變大變密，生成速度也在加快。這種現象壹直存在到達到擊穿電壓，這個階段就是陽極氧化階段。
(2)火花放電階段
當施加在樣品上的電壓達到擊穿電壓時，樣品表面開始出現無數亮度很低的微小火花點。這些火花點密度不高，沒有爆音。在這個階段，樣品表面開始形成陶瓷層，但陶瓷層的生長速度很小，硬度和密度都較低，所以這個階段的時間要盡量減少。
(3)微弧氧化階段
進入火花放電階段後，隨著電壓的不斷上升，火花逐漸變大變亮，密度增大。隨後，放電斑點開始均勻地出現在樣品表面上。弧斑大且密度高，隨著電流密度的增加而變亮，並伴有強烈的爆鳴聲，隨後進入微弧氧化階段。
(4)滅弧階段
在微弧氧化階段結束時，電壓達到最大值，陶瓷層的生長會出現兩種趨勢。壹種是樣品表面的弧點越來越稀疏，最終消失，表面只有少量細小的火花，最終消失，爆音停止。另壹種是表面只有幾個細小的火花，最終會完全消失，同時在其他壹個或幾個部位突然出現大的弧斑。這些大弧斑明亮刺眼，可長時間保持不動，並產生大量氣體，爆炸聲音增大。