陣列波導光柵(AWG)是快速發展的密集波分復用(DWDM)網絡中的關鍵器件。1988年，荷蘭代爾夫特大學的斯密特首先提出了AWG的概念。其重要的應用價值引起了NTT公司和貝爾實驗室的註意。經過十多年的研究和發展，許多不同的AWG器件已經被開發並應用於DWDM系統中。
流程介紹:
AWG是第壹個將平面光波電路技術商業化的元件。該方法是在矽片上沈積壹層二氧化矽(SiO2 _ 2)薄膜，然後通過光刻和反應離子刻蝕定義陣列波導和分束器，再在頂層覆蓋壹層保護層。
由於AWG采用與壹般半導體相同的工藝，多通道數的制造成本與低通道數相近，但更適合量產，集成度更高，因此在多通道元件和未來發展方面具有相當大的潛力。