答:不能用四探針法測量同類型的外延片。
2.N/P外延片外延層電阻率可以用四探針法測量嗎？
答:四探針法可以用來測量異形外延片。
3.為什麽測量單晶樣品電阻率時要求測試平面粗糙，而測量擴散片擴散層的薄層電阻時測試平面可以是鏡面？
答:粗糙表面可以保證金屬探針與樣品接觸良好，所以在測量單晶樣品電阻率時要求測試平面為粗糙表面。"...測試擴散片擴散層的薄層電阻時，測試面可以是鏡面……”其實當擴散片的測試面也是粗糙面時，對測量更好，但擴散前表面已經打磨成鏡面，擴散後擴散層厚度較小，不適合打磨或噴砂，只能測量鏡面。為了使測量更精確，對探頭的壓力和針尖有不同的要求。......
(供參考)