隨著AMS近30年的發展,儀器的測量精度、靈敏度和效率都有了很大的提高,可測量的核素不斷增加。AMS技術的發展大致可以分為三個階段:
①在AMS技術發展初期,第壹代專用AMS設備出現不久,但大部分AMS系統都是在核物理實驗室原有加速器的基礎上進行改裝,只有部分運行時間用於AMS測量。第壹代AMS設備的加速器端電壓比較高,ciaei hi-13 AMS系統就屬於這類典型設備。
②第二代全套商用AMS設備是90年代以後研制的,加速器的端電壓都在5MV以下。典型的設備有美國伍德霍爾海洋研究所的AMS實驗室和奧地利維也納大學的AMS實驗室。這種設備可以測量核素。
③第三代AMS設備最大的特點是小型化。2000年,瑞士蘇黎世ETH AMS實驗室與美國NEC公司合作,開發出壹種終端電壓僅為0.5 mV的超小型AMS系統,專門用於測量。這種AMS設備具有價格低、占地面積小、功耗低、維護簡單等優點。