2.油水分離器:其作用是分離壓縮空氣中所含的油和水，使壓縮空氣得到初步凈化。
3.空氣幹燥凈化器:經過後冷器的壓縮空氣中仍然含有的水取決於空氣的溫度。壓縮空氣的幹燥處理壹般采用分子篩吸附法和冷凍幹燥法。
4.變壓吸附制氮機:所用吸附劑通常為5A分子篩或碳分子篩，再生方式為無熱再生、高壓吸附和低壓或常壓分析。這是分離氮氣的核心設備。
5.氮氣凈化設備:包括脫氧塔、吸附幹燥器和水冷凝器。脫氧塔是以鈀為催化劑的催化反應器。吸附幹燥器的吸附劑為分子篩，再生方式為熱再生(電加熱)。
變壓吸附制氮具有工藝流程簡單、自動化程度高、產氣快(15 ~ 30分鐘)、能耗低、產品純度可根據用戶需要在較大範圍內調節、操作維護方便、運行費用低、裝置適應性強等特點。1000Nm3/h/h以下的中小型氮氣用戶應用廣泛，PSA制氮成為中小型氮氣用戶的壹種方法。