最大的光刻機制造商是荷蘭ASML，這是壹家總部設在荷蘭埃因霍芬（Eindhoven）的全球最大的半導體設備制造商之壹，向全球復雜集成電路生產企業提供領先的綜合性關鍵設備。ASML的股票分別在阿姆斯特丹及紐約上市。
全世界只有中國、日本、荷蘭可以制造光刻機，日本的代表企業是尼康、佳能，曾經的光刻機“王者”，後來被荷蘭ASML反超後就壹蹶不振了，而中國也可以制造光刻機，只是達不到頂尖光刻機的精細程度。
產品服務
ASML為半導體生產商提供光刻機及相關服務，TWINSCAN系列是目前世界上精度最高，生產效率最高，應用最為廣泛的高端光刻機型。目前全球絕大多數半導體生產廠商，都向ASML采購TWINSCAN機型，比如英特爾（Intel）、三星（Samsung）、海力士（Hynix）、臺積電（TSMC）、中芯國際（SMIC）等。
ASML的產品線分為PAS系列、AT系列、XT系列和NXT系列，其中PAS系列現已停產；AT系列屬於老型號，多數已經停產。市場上的主力機種是XT系列以及NXT系列，為ArF和KrF激光光源，XT系列是成熟的機型，分為幹式和沈浸式兩種，而NXT系列則是現在主推的高端機型，全部為沈浸式。