波長小於0.1埃的超硬X射線，範圍為0.1 ~ 1埃的硬X射線，範圍為1 ~ 10埃的軟X射線。由於X射線的波長很短，頻率很高，很容易產生幹涉和衍射現象，即X射線的穿透能力很高，可以穿透許多對可見光不透明的物質。
原則
產生X射線最簡單的方法是用加速電子撞擊金屬靶。在撞擊過程中，電子會突然減速，其失去的動能會以光子的形式釋放出來，形成X射線光譜的連續部分，這就是所謂的軔致輻射。通過提高加速電壓，電子攜帶的能量增加，有可能敲出金屬原子的內部電子。於是內層形成空穴，外層電子跳回內層填充空穴，同時發射出波長約為0.1nm(相當於頻率為3EHz，能量為12.4keV)的光子。