2.葉晚企業全資子公司凱仕通作為房地產開發銷售類上市公司,是國內半導體領域ic離子註入機的優質標準,也是國內半導體IC替代領域唯壹的上市公司。離子註入機。2017年,公司以自有資金10億元認購上海半導體裝備與材料產業投資基金,邁出轉型第壹步。2018,公司成功收購上海卡斯頓半導體有限公司中國離子註入機R&D及制造企業。在光伏離子註入領域,市場占有率全球第壹,並積極研發集成電路離子註入機。收購後,公司正式進入集成電路核心設備行業之壹的離子註入機領域。2019年度榮獲“2018年度浦東新區傑出經濟貢獻企業”稱號,“年度資本創新”、“年度價值企業”兩項金獎,“上市公司”為增長最快的高端制造企業。
1.離子註入機是應用最廣泛的高壓小型加速器之壹。用於半導體材料、大規模集成電路和器件的離子註入,以及金屬材料的表面改性和成膜。2021年,CETC離子註入機亮相第十三屆中國國際航空航天博覽會。
2.離子註入機由離子源、離子引入和質量分析器、加速管、掃描系統和工藝腔室組成,二次部分可根據實際需要省略。離子源是離子註入機的主要組成部分。其作用是將待註入元素的氣態粒子電離成離子,確定待註入離子的種類和束流強度。利用離子源的DC放電或高頻放電產生的電子作為轟擊粒子。當外部電子的能量高於原子的電離勢時,元素通過碰撞電離。碰撞後,除了原來的電子,還會有正電子和二次電子。正離子進入質量分析器選擇想要的離子,然後通過加速器獲得高能量。經四級透鏡聚焦後,進入靶室進行離子註入。