芯片基板可用的材料有載玻片、矽片、陶瓷片、聚丙烯膜、硝酸纖維素膜、尼龍膜,其中以載玻片最常用。為了保證探針穩定地固定在載體表面,需要對載體表面進行多聚賴氨酸、醛基、氨基、巰基、瓊脂糖包被或丙烯酰胺矽烷化等修飾,使載體形成生物特異性親和表面。最後,將制備的探針固定在活化的基底上。目前有兩種方法:原位合成法和合成後微量取樣法。根據芯片中使用的標記物不同,相應的信號檢測方法有放射性核素法、生物素法和熒光染料法。目前,在以玻璃為載體的芯片上廣泛使用的是熒光法。相應的熒光檢測裝置包括激光共聚焦顯微鏡、電荷耦合器件(CCD)、激光掃描熒光顯微鏡和激光共聚焦掃描儀。其中激光共聚焦掃描儀已經發展成為基因芯片的配套檢測系統。芯片掃描提取雜交信號後,在數據分析前,要扣除背景信號,並對數據進行核對、標準化和校正,消除不同實驗系統的誤差。對於簡單的檢測或科學實驗,由於待分析的基因數量較少,我們可以通過直接觀察得出結論。如果涉及大量基因,特別是在分析表達譜時,需要運用統計學和生物信息學的知識進行深入系統的分析,如主成分分析、系統聚類分析、判別分析和調控網絡分析等。芯片數據分析的結束並不意味著芯片實驗的完成。由於基因芯片獲得的信息量大,需要建立壹個通用的數據存儲和交換平臺,將各個實驗室獲得的實驗結果匯總起來,形成共享的基因芯片數據庫,以便於數據交換和結果評估。