為推動我國半導體設備產業發展，最近壹年來國家相繼出臺了三大扶持政策。專家表示，發展國產半導體裝備具有重要戰略意義，在政策推動下，2015年國產半導體設備業仍將保持快速增長態勢。
中國電子專用設備工業協會常務副秘書長金存忠在近日舉行的“2015第三屆中國半導體制造裝備戰略峰會暨半導體設備市場年會”上表示，2014年至今國家發出了三項優惠政策支持我國半導體設備發展：壹是《關於調整重大技術裝備進口稅收政策的通知》，對符合規定條件的國內企業為生產國家支持發展的重大技術裝備而確有必要進口部分關鍵零部件免征關稅和進口環節增值稅。在這方面，集成電路、LED、太陽能電池生產設備中的16項關鍵設備被列入其中。
二是《關於進壹步鼓勵集成電路產業發展企業所得稅政策的通知》，規定對符合條件的集成電路專用設備企業，在2017年前實現獲利的，自獲利年度起，第壹年至第二年免征企業所得稅，第三年至第五年按照25%的法定稅率減半征收企業所得稅。
三是《關於開展首臺(套)重大技術裝備保險機制試點工作的通知》，規定對於制造《目錄》內裝備，且投保“綜合險”或選擇國際通行保險條款投保的企業，中央財政給予保費補貼。實際投保費率按3%的費率上限及實際投保年度保費的80%給與補貼，補貼時間按保險期限據實核算，原則上不超過3年。目前***有13項半導體裝備列入目錄。
除上述三大扶持政策外，已經啟動的1200億規模的國家集成電路產業發展投資基金，在重點扶持晶圓設計、制造、封裝領域的同時，也將扶持上遊生產設備領域。中微半導體設備(上海)有限公司2014年底成為該投資基金第壹個完成投資的項目，投資總額達4.8億元。
發展國產半導體裝備產業具有重要戰略意義。北方微電子副總裁劉韶華表示，中國集成電路產業從跟蹤走向引領的跨越，裝備產業是最重要的壹個環節。西方國家對中國的技術出口限制主要是高端裝備。面向全球每年近400億美元的設備市場，中國應該占有壹席之地。國產裝備將大幅降低中國芯片制造商的投資成本，提高中國芯片制造競爭力等。
半導體裝備產業的特點在於新技術、新工藝日新月異，高度國際化，高度技術壟斷和市場壟斷，高資本投入，長周期回報。研究機構SEMI統計，2014年中國半導體設備市場規模為43.7億美元，同比增長33.6%(全球增長為18%)，占全球半導體設備市場的11.7%。而另壹方面，國產半導體設備的市場占有率並不高，以集成電路設備為例，目前市占率六分之壹都不到。
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