球形矽微粉技術的發展

為了打破國外對我國球形矽粉生產技術和專用設備的嚴密封鎖，自“十五”以來，我國20多個科研單位相繼攻克了這壹技術和設備的關鍵問題，取得了突破性進展。中科院過程工程研究所成功開發出高純球形矽微粉制備新工藝；湖北省建築材料研究設計院與清華大學材料系合作研究高純超細球形矽粉，已通過省級鑒定。武漢大學采用化學合成技術制備球形矽微粉，技術指標達到日本NipponShokuba公司KE-P系列產品水平。湖北省武漢帥爾光電子粉體新材料有限公司開發的VLSI封裝材料用球形二氧化矽粉體項目和四川省綿陽三匯矽質材料有限公司開發的高純超細球形二氧化矽粉體成型技術項目均於2003年被列入國家科技創新基金項目；雲南超微新材料有限公司開發的高溫熔融法生產球形電熔矽微粉項目，2004年進入國家新材料高技術產業化項目；海南省地質勘查局粉體材料工程技術研究中心以精選的結晶石英砂為原料成功制得球形矽微粉，產品適用於電子塑料封裝材料。2005年8月，江蘇連雲港景瑞應時工業發展研究院承擔的高頻等離子體制備球形矽微粉關鍵技術及產品通過部級鑒定，建成50噸/年中試生產線，技術水平國內領先，產品主要性能達到國際先進水平。2007年，四川雅安白土高新材料公司建成年產2000噸高溫熔融離子火焰生產球形熔融矽粉項目。

今年3月，連雲港東海矽微粉有限公司承擔的微米級集成電路用化學合成球形矽微粉項目，通過了江蘇省科技廳主持的科技成果鑒定，打破了國外在化學合成球形矽微粉領域的壟斷地位，技術和工藝裝備達到國際先進水平，填補了國內空白。7月，中國凱盛國際工程有限公司與蚌埠玻璃工業設計研究院合作開發的高純球形石英粉產品工業制備技術及專用生產設備研制項目通過鑒定。該技術和設備為國內首創，產品的球化率、玻璃化轉變率、分散性等主要技術指標達到國際先進水平，實現了連續穩定的工業化生產，生產規模已達450噸/年，產品可替代進口。

中國應時資源豐富，礦產資源分布廣泛。全國大大小小的矽微粉廠有近百家，基本都是鄉鎮企業。這些生產企業大多規模小，品種單壹，使用非礦業常規加工設備，過程中缺乏系統的控制手段，導致矽微粉產品純度、粒度、產品質量穩定性較差，無法與進口產品競爭。這些企業很少有能真正生產出高純超細矽粉的，主要分布在江蘇連雲港東海縣、徐州、湖州、浙江、河北、青海等地。他們的主要產品集中在800目以下，應用領域壹般是冶金、陶瓷、電器產品填料和電子分立元件的封裝。為了搶占高端市場，近年來，國內有眼光的企業開始建設球形二氧化矽微粉項目。

山西長治莊益通矽業有限公司電子級球形二氧化矽微粉項目屬於國家863重點科研項目，總投資5200萬元。今年上半年投產，年產電子級球形二氧化矽微粉1，000噸。重慶金壹矽材料開發有限公司5萬噸矽微粉項目壹期於今年7月1投產。“十壹五”期間，將建成年產20萬噸矽微粉、5000噸球形矽微粉和2000噸多晶矽生產線的西部矽產業基地。黑龍江省通河縣鮑彤應時制品有限公司引進江蘇省連雲港市景瑞應時工業發展研究院開發的高頻等離子體制備球形矽粉關鍵技術，總投資8700萬元，年產球形矽粉1萬噸。前期準備工作已於今年8月完成。招商局江西遂川縣計劃投資65438+多億元，建設5個高純、球形矽微粉加工廠和生產線，年產4000噸。湖北京華實業有限公司將引進武漢大學研發的低應力環氧塑封料球形矽粉最新技術，形成4000噸/年的生產能力。