為了加快科研成果向生產力的轉化、更好地實現大學服務社會的功能，清華大學創建了清華科技園，作為清華大學社會服務功能的有機外延，為創業企業孵化、高新企業研發、創新人才培育、科技成果轉化提供發展空間和卓越服務。
1993年，清華大學提出創建清華科技園的構想，並得到教育部和北京市的確認和批準。
1994年，組建清華科技園發展中心，正式開始建設科技園。
1998年，12萬平方米的起步區工程完工，園區初具規模。
1999年，被納入中關村科技園區的總體規劃，予以重點發展支持。
2000年，57萬平方米的主體園區建設啟動，入園企業達到200家。
2001年，被科技部、教育部確認為首批國家大學科技園之壹。
2002年 清華留學人員創業園成立
2003年， 清華科技園被科技部、教育部認定為全國唯壹的A類國家大學科技園。 清華科技園成為國際科技園協會（IASP）中首家大學科技園會員。
清華創業園被評為“優秀國家創業服務中心”。 清華科技園服務中心正式掛牌成立，標誌著清華科技園的服務支撐體系取得了階段性進展。
2004年 清華科技園建設股份有限公司更名為啟迪控股股份有限公司 清華科技園公***測試平臺成立
2005年 主園區標誌性建築——18萬平米科技大廈竣工並投入使用，海澱區***建高新技術企業服務平臺，創新服務體系進壹步完善
2006年 正式啟動旨在重點培養高科技企業快速成長的“鉆石計劃”。
2007年 十五家創新型科技企業入圍鉆石計劃，主園區入住率超過95%
2008年 清華科技園正式啟用新標識TusPark，宣布全面戰略升級。作為中關村創業投資引導基金第壹批合作夥伴，發起設立啟迪中海創投基金。
2008年 清華科技園正式啟用新標識TusPark，宣布全面戰略升級。 作為中關村創業投資引導基金第壹批合作夥伴，發起設立啟迪中海創投基金。 國際科技園協會亞太分會暨亞洲科技園協會聯合年會在清華科技園召開。 首屆啟迪創新論壇在清華科技園舉辦。