以下是幾種用於稀土元素檢測的常用儀器:
1.電感耦合等離子體質譜儀(ICP-MS):這是測量稀土元素含量最常用的儀器之壹。ICP-MS結合了電感耦合等離子體源和質譜儀的原理，可以分析超低水平的稀土元素。靈敏度高，元素測量範圍寬，檢出限低。
2.原子熒光光譜儀(AFS): AFS也可以用來測量稀土元素。該儀器利用樣品中稀土元素激發產生的熒光輻射進行分析，具有較高的檢測靈敏度和選擇性。
3.x射線熒光光譜儀(XRF):該儀器適用於測量稀土元素的固體樣品，如巖石、礦石和土壤。XRF儀器通過分析X射線照射樣品產生的熒光輻射，可以快速測定多種元素的含量。
4.高效液相色譜(HPLC): HPLC結合了色譜技術和光譜檢測，可用於稀土元素的分離、定量和檢測。HPLC在測量有機絡合物和稀土元素絡合物時特別有用。
除上述儀器外，還有其他儀器和技術可用於稀土元素的測定，如電感耦合等離子體發射光譜儀(ICP-OES)、氫化物發生-原子吸收光譜儀(HGAAS)、伏安法等。