上海精密電子束和東方晶源電子束哪個好？

上海測的電子束好。根據相關資料，上海精密測量的電子束技術具有高靈敏度，可以不受某些表面物理性質的影響，可以檢測微小的表面缺陷，如柵極蝕刻殘留物等。東方晶體源的電子束應用範圍小，檢測速度慢。