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中國光刻機基金有哪些

中國光刻機基金有14個品牌。分別是:臺積電、格科微、晶瑞股份、中微半導體、上海微電子、長江存儲、華力、中芯國際、中科院微電子所、北京航空航天大學、西安交通大學、哈爾濱工業大學、中國科學院上海微系統院校和科研機構。中國光刻機基金只要指的是“光速行動”,主要資金來源為:國家撥款、全民捐款,特殊黨費。