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電子級氫氟酸質量標準

目前,由於微電子廠商對電子級氫氟酸的要求不同,可分為四個等級:

1低檔產品,用於> 1.2μmIC工藝制造;

2 .中低檔產品,適用於0.8 ~ 1.2微米集成電路技術的生產;

3 .中高檔產品,適用於0.2 ~ 0.6微米集成電路技術的生產;

4個不間斷電源,適用於0.09 ~ 0.2微米和