2.2008年獲得日本半導體MIRAI項目最高獎。獲獎項目是“高k柵疊層中界面二極管效應的闡明和量化”,我的排名是9。
申請發明專利30余項,其中美國專利2項,日本專利2項,國內專利30余項。
承擔科研項目:
1.國家02科技重大專項:“22nm關鍵工藝技術中試研究及平臺建設”(批準號:2009ZX02035),子項目負責人,在研;
2.國家自然科學基金重點項目:“鉿基金屬氧化物高K柵介質的基礎研究”(批準號。:50932001),子項目負責人,在研;
3.教育部留學回國人員啟動基金:“納米CMOS器件金屬柵制備及高k/金屬柵集成與閾值電壓控制技術”,項目負責人,在研;
4.中科院微電子所所長基金會:“高k/金屬柵集成與閾值電壓控制技術”(批準號:08SF041001),項目負責人,在研。