濺射靶材主要用於電子和信息產業，如集成電路、信息存儲、液晶顯示器、激光存儲器、電子控制器件等。，還可用於玻璃鍍膜、耐磨材料、耐高溫腐蝕、高檔裝飾制品等行業。
擴展數據:
註意事項:
保持真空室的清潔非常重要，尤其是濺射系統。任何潤滑油、灰塵、預塗形成的殘留物都會聚集水分等汙染物，直接影響真空度，增加成膜失敗的可能性。短路或靶材飛弧、膜面粗糙、化學雜質含量超標，往往是濺射室、濺射槍和靶材不幹凈造成的。
為了保持塗層的成分特性，濺射氣體(氬氣或氧氣)必須清潔幹燥，襯底裝入濺射室後需要抽出空氣，達到工藝要求的真空度。
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