設有衍射光學實驗室、光刻膠鍍膜實驗室、離子刻蝕實驗室、精密測量實驗室、光刻實驗室、微納壓印實驗室和數字激光幹涉光刻設備研究室。具有國內領先的激光幹涉光刻研究的實驗條件。獲國家科技進步二等獎2項,江蘇省科技進步1項,三等獎2項,國家“發明創業獎”1項,全軍科技進步二等獎1項,江蘇省優秀發明家1項,國家留學回國人員成果獎1項。研究成員25人,70%擁有碩士和博士學位。陳林森研究員,中國光學學會全息與光學信息處理專業委員會主任。