掃描探針顯微鏡簡介

掃描探針顯微鏡(SPM)是掃描隧道顯微鏡和各種新型探針顯微鏡(原子力顯微鏡AFM、激光力顯微鏡LFM、磁力顯微鏡MFM等)的總稱。)是在掃描隧道顯微鏡的基礎上發展起來的，是近年來國際上發展起來的表面分析儀器。它是綜合運用光電子技術、激光技術、微弱信號檢測技術、精密機械設計與加工、自動控制技術、數字信號處理技術、應用光學技術、計算機高速采集與控制和高分辨率圖形處理技術等現代科技成果，集光、機、電於壹體的高科技產品。