微機電系統是集微傳感器、微致動器、微機械結構、微電源和微能源、信號處理和控制電路、高性能電子集成器件、接口和通信於壹體的微器件或系統。MEMS是壹項革命性的新技術，廣泛應用於高科技產業，是關系到國家科技發展、經濟繁榮和國防安全的關鍵技術。