XPS (X射線光電子能譜)是壹種表面分析技術，廣泛應用於材料科學、化學、生物等領域。XPS是檢測鹵素峰的有效方法。首先，鹵族元素靈敏度高。XPS對鹵族元素高度敏感，可以有效檢測鹵族元素的存在。其次，XPS分辨率高。它能清楚地區分不同元素的光電子峰，包括鹵族元素的光電子峰。最後，XPS還可以提供元素的化學狀態信息。通過分析光電子峰的能量位置和形狀，可以確定元素的化學狀態及其在樣品中的分布。