1.接觸式粗糙度測量儀:接觸式粗糙度測量儀是通過機械探頭與被測物體表面接觸來進行測量的。當機械探針接觸被測表面時，測量系統將記錄機械探針的運動軌跡和力的變化。通過測量探針在表面上的運動和力的變化，可以計算出表面形貌參數。測量原理中的關鍵是測頭與被測表面的接觸和運動，因此需要保證測頭的穩定性和精度。
優點:設備成本相對較低。
缺點:探頭維護和更換成本高；測量速度慢，精度低；對被測物體的損壞；對被測材料有要求，軟的材料和尖的產品很難測量。
非接觸式粗糙度測量儀:非接觸式粗糙度測量儀壹般采用光學原理。比如白光幹涉儀，利用光學幹涉原理獲得物體的表面信息，是壹種精密測量儀器，可以高精度測量物體的表面粗糙度。壓電陶瓷器件驅動的白光幹涉儀測量精度很高，精度可以達到亞納米級。大量程高精度高速壓電陶瓷單元驅動的白光幹涉儀精度高達0.03nm，掃描速度高達400微米/s，廣泛應用於新能源、半導體、精密加工、精密光學、航空航天、3C制品、材料、液晶等諸多行業。
優點:測量速度快，精度高；不損壞被測物體；對材質沒有要求，軟性材質和尖銳的產品也可以測量。
缺點:設備成本比較高。
綜上所述，表面粗糙度的測量需要根據實際測量情況和需求選擇合適的測量方法。