1.先進技術型企業，所得稅率按15%征收。投產後由園區協助申請認證。
2.昆山市政府、昆山開發區向江蘇省政府申請對半導體項目除註冊資金以外的銀行貸款利息補貼和給予科技經費補貼。
3.對半導體項目的生產設備實施免稅、退稅政策。
4.對半導體、光電器件設計企業提供專項資金支持，政府設立專項基金等。
5.園區企業引進的專業技術人才和管理人才，享受昆山市人才引進優惠政策。
6.昆山開發區可按照企業要求提供土地或廠房，采取多種合作方式。