用於半導體制造業。FTIR乃利用紅外線光譜經傅利葉轉換進而分析雜質濃度的光譜分析儀器。
目的：·已發展成熟，可Routine應用者，計 有： A.BPSG/PSG之含磷、含硼量預測。 B.芯片之含氧、含碳量預測。 C.磊晶之厚度量測。·
發展中需進壹步Setup者有： A.氮化矽中氫含量預測。 B.復晶矽中含氧量預測。 C.光阻特性分析。FTIR為壹極便利之分析儀器，STD的建立為整個量測之重點，由於其中多利用光學原理、芯片狀況（i.e.晶背處理狀況）對量測結果影響至鉅。
目前所有的紅外光譜儀都是都是傅裏葉變換型的，光譜儀主要由光源（矽碳
棒、高壓汞燈）、邁克爾遜幹涉儀、檢測器和幹涉儀組成。而傅裏葉變換紅外光譜儀的核心部分是邁克爾遜幹涉儀，把樣品放在檢測器前，由於樣品對某些頻率的紅外光產生吸收，使檢測器接受到的幹涉光強度發生變化，從而得到各種不同樣品的幹涉圖。這種幹涉圖是光隨動鏡移動距離的變化曲線，借助傅裏葉變換函數可得到光強隨頻率變化的頻域圖。這以過程可有計算機完成。
用傅裏葉變換紅外光譜儀測量樣品的紅外光譜包括以下幾個步驟：
1)、分別收集背景（無樣品時）的幹涉圖及樣品的幹涉圖;
2)、分別通過傅裏葉變換將上述幹涉圖轉化為單光束紅外光；
3)、將樣品的單光束光譜處以背景的單光束光譜，得到樣品的透射光譜或吸收光譜。
EPI（Expanded Programme on Immunization），也就是擴大免疫規劃，其由來和發展如下：
70年代初期，世界衛生組織統計亞、非、拉丁美洲的發展中國家(不包括中國)，每年出生嬰兒超過8000萬，但是接受百日咳、白喉、破傷風、麻疹、脊髓灰質炎和結核免疫的兒童，還不到10%，而且多為突擊性接種。因上述六種傳染病每年要死亡500萬兒童，同時還有500萬兒童留下失明、癱瘓等後遺癥。但是在經濟發達的國家，由於廣泛開展預防接種，已成功地降低了上述傳染病的發病率與死亡率。
基於消滅天花和經濟發達國家控制上述傳染病的經驗，1974年5月第27屆世界衛生大會通過壹項決議，要求各成員國《發展和堅持免疫方法與流行病監督計劃，防止天花、白喉、百日咳、破傷風、麻疹、脊髓灰質炎、結核病等傳染病》，正式開始提出擴大免疫規劃(簡稱EPI)。大會還宣布，在民族平等的基礎上，應與各國政府合作發展上述計劃，要動員力量，保證接種質量和必需的物質設備，擴大教學與科研工作，以促使計劃的實現。1976年、1977年，在第29、30屆世界衛生大會上重申了這壹計劃的發展方向，而且要求世界衛生組織的其他計劃方面，把EPI放在優先地位。1978年第31屆世界衛生大會上，世界衛生組織總幹事馬勒博士在報告中提出，EPI的消滅天花計劃和其他計劃的延續，應與醫療衛生援助和婦幼保健計劃相銜接。並提出EPI的近期和中期計劃，即到1990年前，對世界範圍內的所有兒童接種卡介苗、脊髓灰質炎疫苗、百白破混合制劑和麻疹疫苗，以降低相應疾病的發病率和死亡率。同時把幹部培訓，提高疫苗質量，加強組織管理作為實現該計劃的中期目標。在這屆大會上還通過成立全球EPI顧問小組的決議。同年9月，在原蘇聯阿拉木圖召開的國際初級衛生保健會議上，強調EPI活動是婦幼衛生和初級衛生保健活動的內容之壹，是到“2000年使人人享有衛生保健”全球戰略目標的重要組成部分，寫入阿拉木圖宣言之中，並成為1979年聯合國大會壹致贊同的壹項決議。我國於1981年正式參加全球EPI活動。?
1987年世界衛生組織把“免疫——每個兒童的壹個機會”作為當年4月7日“世界衛生日”的主題。馬勒總幹事在“世界衛生祝詞”中指出，當前全球的EPI活動正隨著初級衛生保健的加強而不斷發展，已取得壹些顯著成績。在有兒童、疫苗、衛生人員三者相結合的國家，每年可拯救80萬左右兒童免遭死亡。但在大多數發展中國家，百日咳、白喉、破傷風、麻疹、脊髓灰質炎和結核六種傳染病仍是主要的公***衛生問題。他指出，在我們世界已擁有現代化技術的今天，成千上萬的兒童卻死於用疫苗可以預防的疾病，這種現象再也不能容忍了。要求使免疫接種對每壹個兒童都是壹次機會，把普及兒童免疫作為使人人享有衛生保健的裏程碑。對此，人民群眾通情達理的合作，各國家領導人堅定不移的信念，衛生人員專心致誌的努力，父母雙親精心的關懷培育以及所需資金、器材的籌集，無壹不是拯救世界兒童所需的壹項綜合性措施的組成部分。
目前全世界已有80%以上的國家和地區參加了EPI活動。全部發展中國家的免疫覆蓋率正在迅速接近經濟發達國家的水平，針對疾病的發病率也有了大幅度下降，每年減少100萬兒童死於麻疹、新生兒破傷風和百日咳，預防了17萬例以上脊髓灰質炎病例發生，全球的衛生工作取得了重大進展。?
我國政府歷來十分重視兒童的預防保健工作，關心兒童的健康成長。建國初期制定了“預防為主”的衛生工作方針，在全國範圍內普種牛痘苗，接著逐步擴大卡介苗、百白破制劑、小兒麻痹糖丸疫苗、麻疹疫苗和其他疫苗的大規模普種。60年代初期消滅了天花，其他相應傳染病的發病率也逐年下降。1963年衛生部頒發了《預防接種實施辦法》，壹些地區開始從不定期接種逐步改變為有計劃地接種。1978年和80年衛生部相繼下發了《關於加強計劃免疫工作的通知》和《預防接種工作實施辦法》，接著於1982年10月召開了首次全國計劃免疫工作會議，成立了衛生部醫學科學委員會計劃免疫專題委員會和六個區域性協作委員會，頒發了《全國計劃免疫工作條例》、《1982—1990年全國計劃免疫工作規劃》和《計劃免疫工作考核辦法》，統壹了全國的兒童免疫程序，明確了計劃免疫工作的概念、內容、指標和方向。
1985年國家領導人在聯合國有關文件簽字對普及兒童免疫目標做了承諾，提出在“七五”期間分兩步實現目標。為了加強計劃免疫工作領導，1986年經國務院批準，成立了由衛生部、國家教委、全國婦聯、廣播電影電視部、對外經濟貿易部、國家民族事務委員會等部門負責人參加的全國計劃免疫工作協調小組，並確定每年4月25日為全國“兒童預防接種宣傳日”。在聯合國兒童基金會的贊助下，經過各級政府積極支持，全國範圍內裝備了冷鏈設備並投入正常運轉，越來越多的兒童能及時得到有效的免疫接種。1989年和1991年，世界衛生組織、聯合國兒童基金會協同我國衛生部先後兩次在全國抽樣審評，免疫接種率均如期達到規定目標。
目前，全國計劃免疫工作正在圍繞第三步目標進行，即1995年以鄉鎮為單位免疫接種率達到85%以上，基本消滅脊髓灰質炎。兒童獲得免疫保護正在向制度化、規範化、法制化發展。